2010年10月13日 · BEOL에도 여러 공정 분야가 있겠지만 etch, gap fill, CMP, Plating (Cu) 등이 주요 공정들로 보입니다. 제 친구의 경우, metal dry etch를 하는데 장비트러블이나 공정 문제들( ex) metal bridge..)로 월말이나 분기말이 되면 무척 시달립니다.

[BEOL] 업무경험 – BEOL integration – BEOL process assumption development – Definition of BEOL GRs – Dry etch/lithography – Macro design and verification 전문지식 – Lithrgraphy/OPC – BEOL process integration – Graphene/carbon nanotube – BEOL reliability (EM/TDDB, CPI) – Patterning technology 필수 Check Point