微纳加工平台 是集微纳制造技术研发、公共服务、产业化为一体的多功能的公共开放平台，规划建设超净实验室约14000平方米，以专业化的团队、先进的设备工艺及完善的基础设施搭建科研与产业的桥梁，围绕硅基MEMS、GaN基芯片、生物传感等芯片加工需求，面向 ...

2024年1月22日 · 微纳加工技术是一种基于微米和纳米尺度的制造技术，可以制造出非常小的物品，例如：微米与纳米级别的颗粒、线、薄膜等。 该技术可以利用光刻 帖子

那么，目前适用于超小尺寸半导体芯片的激光微纳加工技术有哪些呢？ 相对传统技术而言，它们又具有哪些优势呢？ 接下来，激光评论将带大家领略激光微纳加工在半导体芯片制造领域的独特风采。

2024年10月7日 · 芯片微纳制造技术是指在微米和纳米尺度上，通过一系列精密的制造工艺和技术手段，将电子元器件、电路和系统集成在微型芯片上的技术。芯片微纳制造的主要工艺包括晶圆制备、光刻、薄膜沉积、离子注入、化学机械抛光等，其中光刻和薄膜沉积是芯片制造 ...

2025年1月13日 · 微纳加工平台 是集微纳制造技术研发、公共服务、产业化为一体的多功能的公共开放平台，规划建设超净实验室约14000平方米，以专业化的团队、先进的设备工艺及完善的基础设施搭建科研与产业的桥梁，围绕硅基MEMS、GaN基芯片、生物传感等芯片加工需求，面向 ...

2023年1月3日 · 瞄准微纳电子、微纳光子、微纳机械等战略性微纳器件的制造需求，围绕光学微纳加工领域“超越衍射极限的光学微纳加工原理和方法”这一重大科学问题，从源头抓起，系统谋划，务实推进。

2024年11月23日 · 在现代科技快速发展的背景下，激光微纳加工技术作为一种关键的制造手段，正在微电子与半导体制造领域扮演着越来越重要的角色。 本文将深入探讨激光微纳加工技术的核心特性、应用实例以及未来的发展趋势。

2023年10月28日 · 微纳工艺就是把常规的硅片转化为微晶状物，通过微电子管、集成电路、放射性镀膜、表面活性剂等方法实现物理层面的功能，从而达到纳米大小的集成电路制造的目的。微纳工艺能够做到高精度的微观功能、低成本的批量制造以及完全可编程的特点。

2024年1月23日 · 半导体芯片的小型化、智能化和低成本制造对于新型显示、光通信、航空航天等领域的发展具有重要意义。半导体微纳加工平台主要涉及从清洗、光刻、刻蚀、扩散、镀膜、后道等多步工艺及相关设备。

2021年4月29日 · 微纳加工技术 是先进制造的重要组成部分，是衡量国家高端制造业水平的标志之一，具有多学科交叉性和制造要素极端性的特点，在推动科技进步、促进产业发展、拉动科技进步、保障国防安全等方面都发挥着关键作用。微纳加工技术的基本手段包括微纳加工 ...