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新凯来公司深度调研报告(国产半导体隐形冠军)
它采用193nm ArF光源，套刻精度<2nm，分辨率逼近ASML的TWINSCAN NXT：2000。相比上海微电子的90nm设备，这是一次技术飞跃，其自研浸没式镜头和光源稳定 ...