在这场技术竞赛中,荷兰的ASML凭借其极紫外光(EUV)光刻技术占据了无可争议的霸主地位。不过,近日,国内外媒体及网络接连曝出佳能通过纳米 ...
近年来,国产光刻机技术的迅速发展引起了全球半导体行业的关注。尤其是EUV(极紫外光)光刻机的研发进展,成为众多专业媒体和行业专家讨论的热点。国产EUV光刻机的技术突破不仅意味着国产半导体设备的成熟,也在全球半导体市场上占据了一席之地。
但制造这些芯片严重依赖极紫外 (EUV) 光刻技术,这已成为扩大生产的最大障碍之一。自 2019 年首批商用 EUV 芯片下线以来,设备、掩模生成和光刻胶 ...
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