据麦姆斯咨询报道，近日，北京理工大学谢会开教授课题组设计并制造了一种集成了基于温度场的位置传感器的Tip-Tilt-Piston 3 × 3电热MEMS微镜阵列。单个八角形镜板的尺寸可达1.6 mm × 1.6 mm。嵌入热隔离结构以减少MEMS微镜单元之间的热耦合。结果表明，每个MEMS微 ...