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昨天,致力于可控核聚变能源商业化的上海公司能量奇点宣布,其设计研发建造的“洪荒70”装置成功实现等离子体放电。这 ...
2025年4月10日,在半导体行业竞争愈发激烈的背景下,中微半导体设备(上海)股份有限公司宣布成功获得了一项新专利,专注于下电极组件及等离子体处理装置。这项名为《下电极组件及等离子体处理装置》的专利由国家知识产权局授权,旨在显著降低由于电弧放电导致下电极组件击穿的风险。这一创新将极大地提升晶圆加工的安全性,预计将对整个半导体制造流程产生深远的影响。
放电等离子烧结(Spark Plasma Sintering,简称SPS)设备是将金属等粉末装入石墨等材质制成的模具内,利用上、下模冲及通电电极将特定电源脉冲电流和压制压力施加于烧结粉末,经放电活化、热塑 ...
热空气被引导到特定区域后,就给放电提供了一条“绿色通道”,火花自然就跟着来了。 三、研究讨论:优势与局限并存 超声波引导等离子体火花 ...
日本SUGA公司自SPS-放电等离子烧结技术诞生以来,一直伴随着SPS技术在全世界的发展,1997年开始代工生产SPS设备,经过多年的技术积累,现推出Sx、Rx系列SPS放电等离子烧结炉。 l Sx系列 ...