然而，不到两年时间，国产光刻机再次实现了重大突破。 中科院成功研发出了全固态DUV光源技术，这项技术可以用于制造3nm芯片，并且得到了国际光电工程学会的认可。这一突破迅速引起了芯片行业的关注，因为它与ASML的技术路线完全不同，打破了欧美光刻机 ...

光明日报北京3月27日电（记者齐芳）3月27日，国家重大科技基础设施高能同步辐射光源HEPS正式宣布启动带光联调，这标志着HEPS装置建设进入冲刺阶段。 HEPS是设计亮度世界最高的第四代同步辐射光源，也是我国第一台高能量同步辐射光源。截至2025年1月 ...

3月27日，国家重大科技基础设施高能同步辐射光源（HEPS）正式宣布启动带光联调，标志着该装置建设进入冲刺阶段。 高能同步辐射光源是设计亮度世界最高的第四代同步辐射光源，也是我国第一台高能量同步辐射光源。截至2025年1月，经过多轮束流调试 ...

高能同步辐射光源通用环境谱学线站（2025年3月5日摄）。 记者从中国科学院获悉，国家重大科技基础设施——高能同步辐射光源（HEPS）3月27日正式启动带光联调，HEPS建设进入冲刺阶段。 作为北京怀柔科学城重大科技基础设施集群的核心设施，HEPS由国家发展 ...

光明网讯（记者宋雅娟）3月27日，记者从中关村论坛上获悉，国家重大科技基础设施——高能同步辐射光源（HEPS）正式启动带光联调，标志着该大科学装置建设进入冲刺阶段。 HEPS航拍图（2024年8月拍摄） HEPS是设计亮度世界最高的第四代同步辐射光源 ...

记者从正在举行的中关村论坛上获悉，位于北京怀柔科学城的国家重大科技基础设施——高能同步辐射光源27日正式启动带光联调，标志着该大科学装置建设进入冲刺阶段，建成后将为基础科学和工业创新等领域原创性、突破性研究提供重要支撑。 高能同步辐射 ...

不过相信大家也看出来了，这种全固态DUV光源技术虽然在光谱纯度上已经和商用标准相差无几，但是输出功率、频率都还低得多。 对比ASML的技术 ...

导读：中国科学院研发的全固态DUV光源采用固态激光晶体(如非线性光学晶体)结合倍频技术，将红外激光转换为紫外光。相比传统光源，全固态光源具有体积小、效率高、寿命长、可控性好等特点，更适合工业化和精密应用。 据国际光电工程学会(SPIE)消息 ...

导读：中科院的固态DUV激光技术完全基于固态设计，由自制的Yb:YAG晶体放大器生成1030nm的激光，在通过两条不同的光学路径进行波长转换。 3月25日消息，据悉，中国科学院成功研发除了突破性的固态DUV(深紫外)激光，可发射193nm的相干光，与目前主流的DUV曝光 ...

据国际光电工程学会（SPIE）报道，中国科学院（CAS）研究人员成功研发突破性的固态深紫外（DUV）激光，能发射193纳米的相干光（Coherent Light），与当前被广泛采用的DUV曝光技术的光源波长一致。 相关论坛已经于本月初被披露在了国际光电工程学会（SPIE ...

IT之家3 月 25 日消息，据国际光电工程学会（SPIE）消息，中国科学院（CAS）研究人员成功研发突破性的固态深紫外（DUV）激光，能发射 193 nm 的相干光（Coherent Light），该波长目前被用于半导体曝光技术。 论文介绍称，深紫外相干光，尤其是 193 nm 波长的光，已 ...