近日,国内外媒体及网络接连曝出佳能通过纳米压印光刻(NIL)以及中国通过激光驱动等离子体(LDP)技术挑战ASML的新闻,并在业内再次引发了光刻 ...
在竞争对手增强生产能力的同时,美光对EUV采取了谨慎的态度。 美光公司上个月推出了第六代DRAM的原型,成为存储器半导体行业中第一个推出第六 ...
High NA EUV突破:英特尔季产3万片,imec 20nm良率90%,美光首用DRAM。 EUV技术自从其提出以来,面临着多重挑战,包括高成本、复杂的光学系统以及需要 ...
本文来自微信公众号:半导体行业观察 (ID:icbank),作者:杜芹DQ, EUV技术自从其提出以来,面临着多重挑战,包括高成本、复杂的光学系统以及需要在高精度下制造光罩等。然而,随着技术不断成熟,EUV逐渐突破了制程限制,尤其在10nm及以下的制程中展现出 ...
近年来,国产光刻机技术的迅速发展引起了全球半导体行业的关注。尤其是EUV(极紫外光)光刻机的研发进展,成为众多专业媒体和行业专家讨论的热点。国产EUV光刻机的技术突破不仅意味着国产半导体设备的成熟,也在全球半导体市场上占据了一席之地。
最近在网络上面,经常看到EUV光刻机通过工信部验收的消息,对这样的消息,我看用不着兴奋,也不必相信,这种消息一般 ...