正是基于上述ASML EUV的深积淀与高壁垒，决定了其他厂商要想以同样的技术路线实现替代或者赶超几无可能，惟有另辟蹊径。而这也是近日佳能NIL和中国LDP技术路线在业内引起强烈反响和争论的主要原因。
Schon 2026 soll China komplexe EUV-Systeme in Serie produzieren. Sonderlich realistisch erscheint das allerdings nicht.
一些您可能无法访问的结果已被隐去。
显示无法访问的结果一些您可能无法访问的结果已被隐去。
显示无法访问的结果
反馈