本文研究的静电MEMS执行器由一个固定的硅电极（顶部有铝制成的金属焊盘）和一个可移动的硅微梁构成，如图1所示。执行器采用PiezoMUMPs工艺制造。在制造过程中，微梁下方的衬底被完全蚀刻。

图片来源：ISTA 在实验开始时，结果一如既往，同种材料之间相互接触产生的静电根本没有规律可循。研究团队尝试控制变量找一些规律，比如环境 ...

在电子车间、精密实验室或化工厂里，潜藏着一个随时可能引爆的"隐形炸弹"——它就是静电。普通人眼中"噼啪作响"的小火花，在工业领域却能摧毁价值百万的设备、点燃致命爆炸。而防静电手推车，正是化解这场无声危机的关键利器。

静电魔法小实验：摩擦起电，让纸屑 “开花” 在学生头顶俏皮舞动 ...

其实，静电的奥秘早不是新闻了 ... 可麻烦在于，不同人测出的顺序不一样，甚至同一个人重复实验都可能得出不同结果。Waitukaitis直言：“研究 ...

金融界3月28日消息，有投资者在互动平台向英杰电气提问：请问董秘公司半导体射频电源及匹配器、RPS远程等离子源、E-Chuck静电卡盘电源、微波源、高压电源、脉冲电源、直流电源.等设备是否有供应新凯来或存在送样实验呢？公司回答表示：您问题中提及的公司半导体电源产品，其中像静电卡盘电源等部分产品，已实现对客户的批量 ...