本文研究的静电MEMS执行器由一个固定的硅电极（顶部有铝制成的金属焊盘）和一个可移动的硅微梁构成，如图1所示。执行器采用PiezoMUMPs工艺制造。在制造过程中，微梁下方的衬底被完全蚀刻。

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示崧盛股份（301002）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种LLC谐振变换电路和LED驱动电源”，专利申请号为CN202111508868.9，授权日为2025年3月28日。

近年来，微机电系统（MEMS）在智能设备中的应用日益广泛，正在引领电动通讯、感应设备等多个领域的创新进程。为了提升MEMS的驱动效率，加拿大滑铁卢大学、埃及本哈大学和法国南特大学的研究团队联合发布了一项重要研究，探索了静电MEMS谐振驱动技术。这项研究不仅揭示了多种谐振激励方法的对比，更为高频MEMS驱动提供了潜在的优化方案，让整个行业备感振奋。 该研究识别出了三种有效的谐振驱动方法：谐振匹配、多 ...

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示麦格米特（002851）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种电源调节电路、电源调节方法以及电子设备 ...