创新通用型表面粗糙度仪用于在线测量，可选配带可编程控制定位的机器手，无导板探针，用于测量不规则纹路。 模块化配置的机械臂可以快速容易定位于测量部位。精密的基准面可实现 ...

光刻图案化过程依赖于同时满足小特征尺寸分辨率、对EUV波长的高灵敏度以及可接受的线宽粗糙度的光刻胶。然而，从光掩模到晶圆图案化的最终步骤却是最不可预测且最难以理解的环节。

随后，将每组样本分为两半，一半进行机械抛光处理，另一半进行上釉处理。其次是表面粗糙度测量，使用轮廓仪（Perthometer M2）在样本处理前后分别测量其 Ra 值、最大轮廓偏差（Rz）和 Rmax 值 ...